隨著微機電系統（MEMS）等微小尺寸器件的發展，對金屬材料在微尺度下的力學性能評估需求日益增加。微尺度拉伸試驗專門用于檢測微小樣品的力學性能。試驗設備采用高精度的微力傳感器和位移測量裝置，能夠精確控制和測量微小樣品在拉伸過程中的力和位移變化。與宏觀拉伸試驗不同，微尺度下金屬材料的力學行為會出現尺寸效應，其強度、塑性等性能與宏觀材料有所差異。通過微尺度拉伸試驗，可獲取微尺度下金屬材料的屈服強度、抗拉強度、延伸率等關鍵力學參數。這些參數對于 MEMS 器件的設計和制造至關重要，能確保金屬材料在微小尺度下滿足器件的力學性能要求，提高微機電系統的可靠性和穩定性，推動微納制造技術的進步。

金屬材料在加工過程中，如鍛造、軋制、焊接等，會在表面產生殘余應力。殘余應力的存在可能導致材料變形、開裂，影響產品的質量和使用壽命。表面殘余應力 X 射線檢測利用 X 射線與金屬晶體的相互作用原理，當 X 射線照射到金屬材料表面時，會發生衍射現象，通過測量衍射峰的位移，可精確計算出材料表面的殘余應力大小和方向。這種檢測方法具有無損、快速、精度高的特點。在機械制造行業，對關鍵零部件進行表面殘余應力檢測尤為重要。例如在航空發動機葉片的制造過程中，嚴格控制葉片表面的殘余應力，能確保葉片在高速旋轉和高溫環境下的結構完整性，避免因殘余應力集中導致葉片斷裂，保障航空發動機的**可靠運行。